Das neuartige EM-Tec FG1 Silizium REM Finder-Grid-Substrat besteht aus einem 12x12 mm Raster aus feinen Chromablagerungen mit 1 mm Rastermaß auf einem leitenden, ultraflachen Siliziumsubstrat. Das Substrat ist in 144 indizierte 1x1 mm Felder aufgeteilt, wobei jedes der Felder eine eindeutige, alphanumerische Beschriftung in der unteren rechten Ecke trägt. Die alphanumerische Beschriftung ist einfach mit einer Lupe, einem Stereomikroskop oder REM zu sehen. Das entstandene Raster ist vergleichbar mit 25 Mesh und ist gut geeignet für größere Partikel oder kleine Proben, die in separaten Feldern untergebracht werden sollen. Das EM-Tec FG1 Silizium REM Gittersubstrat eignet sich ideal für die korrelative Mikroskopie, da die Position der Probe durch den Index leicht wiedergefunden werden kann. Das 12x12 mm Raster des EM-Tec FG1 ist auf einem 12,5 x 12,5 mm Substrat aufgebracht. In erster Linie ist dieses Grid für REM-Anwendungen konzipiert. Es ist aber ebenso für Auflichtmikroskopie, AFM und Auger/SIMS geeignet. Dieses einzigartige Produkt hat eine Reihe von Vorteilen gegenüber gravierten REM Stubs und anderen, gebräuchlichen REM Finder-Grid Rastern aus Kupfer:
Das EM-Tec FG1 Silizium REM Rastersubstrat wird in einem Reinraum verpackt und in einer Gel-Box geliefert.
Das EM-Tec FG1 Silizium Rastersubstrat ist ideal für:
Rastergröße | 12 x12 mm divided into 144 individual 1x1mm fields |
Kennzeichnung | Jedes Feld mit Buchstabe und Zahl unten rechts eindeutig |
gekennzeichnet | Muster / Linien 75nm dick abgeschieden Cr-Schicht mit 20 µm Linienbreite, 80 µm Linienhöhe |
Substratgröße | 12.5x12.5 mm |
Orientierung | <100> |
Art | P (Boron) |
elektrischer Wiederstand | 1-10 Ohm/cm |
Grad | Prime / CZ Virgin |
Beschichtung | None, native oxide only |
Dicke | 675µm (+/- 20µm) |
TTV-Rauheit | ≤1.5µm |
Oberflächenkrümmung | ≤30µm |
Technische Informationen: EM-Tec FG1 silicon SEM finder grid substrate (auf Englisch)
Bestellinformationen zu EM-Tec Silizium REM Gittersubstrat (Finder Grid)
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