TEM Bild mit vier identischen Strukturen
wechselnder Si/SiGe Linien
Diagramm der vier Regionen
der Kalibrierstruktur
Optisches Bild der vier Regionen
der Kalibrierstruktur
Ein akkurat kalibriertes TEM ist Voraussetzung für die Erzeugung korrekter Bilddaten. Mit dem rückverfolgbaren MAG*I*CAL Kalibrierstandard kann das TEM akkurat kalibriert werden. Der rückverfolgbare MAG*I*CAL TEM Kalibrierstandard besteht aus vier Sets von 5 SiGe Schichten mit einer Dicke von ~10 nm, wechselnd mit ~13 nm Schichten aus reinem Silicium. Die Gesamtbreite der wechselnden Linien beträgt ~100 nm. Der Abstand zwischen jedem Set aus 5 Schichten beträgt ~1,2 µm. Die epitaxischen Schichten sind mittels MBE (Molecular Beam Epitaxy) Prozess auf einem Monokristallsubstrat {001} gewachsen. Der fertige Kalibrierstandard ist ist ein Cross-Section TEM Kalibrierstandard mit vier Regionen, wo die Kalibrierlinien aufgenommen werden können.
Der einzigartige MAG*I*CAL TEM Kalibrierstandard kann eingesetzt werden für die Kalibrierung:
Die vier Sets aus wechselnden Si und SiGe Schichten erzeugen helle und dunkle Linien mit gutem Kontrast. Die vier Sets aus wechselnden Schichten wurden durch den Gebrauch eines hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskop (HR-TEM) kalibriert mit Referenz der {111} Raumgitter von Silicium (0,3135428 nm), gemessen auf dem Monokristallsubstrat des MAG*I*CAL Kalibrierstandards. Diese Methode liefert ungebrochene Rückverfolgbarkeit durch eine Naturkonstante, die Gitterkonstante von Silicium.
Geliefert mit einer 3 mm Titanscheibe und Kalibrieranleitung (in Englisch).
Rückverfolgbarkeit des MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandards
Der MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandard wurde gefertigt aus einem Monokristall-Silicium-Wafer und beinhaltet so eine Naturkonstante in sich selbst, die Kristallgitterkonstante von Silicium. Alle Kalibriermarken auf dem Standard beziehen sich direkt auf diese Naturkonstante. Die kalibrierten Werte können durch den Anwender verifiziert werden, indem er das Kristallgitterbild des Siliciumsubstrats betrachtet und mit dem kalibrierten Wert vergleicht.
Messinstistute (NMIs) wie NIST in den USA, NPL im UK und PTB in Deutschland zertifizieren Messwerte als rückverfolgbar in Bezug auf Naturkonstanten, sie zertifizieren aber keine Naturkonstanten. Der MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandard benötigt keine NMI Zertifizierung, da die Kalibrierung direkt rückverfolgbar auf Naturkonstanten ist, die auf dem Standard selbst zur Verfügung stehen (der Kristallgitterabstand von Silicium) und alle kalibrierten Werte durch den Anwender verifiziert werden können. Der Kristallgitterabstand ist eine spezifische Eigenschaft des Materials. Bei reinem Silicium ist der Kristallgitterabstand durch die Wissenschaftsgemeinde sehr gut bestimmt und dokumentiert. Er ist auf acht Dezimalstellen genau bekannt: 0,313560136 nm. Diesen Wert findet man im aktuellen CRC "Handbook of Chemistry and Physics" und vielen anderen Publikationen.
Anleitung und Informationen zur MAG*I*CAL TEM Kalibrierstandard (auf Englisch)
Kikuchi Pattern des Si Monokristalls zum Abgleich |
Gitterbild des Si Monokristalls |
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