Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte
Übersicht Cressington REM Sputter- & Kohlenstoffbeschichter
Cressington 108 REM Sputter Coaters
Cressington 108 REM Carbon Coaters
Cressington 108 Vacuum Pump Systeme
Cressington Rot.-Kipp- und Rot.-Kipp.-Planetentische
Sputter Targets für Cressington 108 Serie
Verbrauchsmaterial für Cressington Coater, MTM Systeme und Vakuumpumpen
Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte
hochauflösende Systeme für Coater der Cressington 108 Serie
Einleitung
Akkurate Schichtdickenmessung und Schichtdickenkontrolle bei der Beschichtung von REM Proben ist wichtig, um reproduzierbare, optimale Beschichtungen zu erhalten. Schätzungen mit einer Platte und einem Tropfen Öl oder gleiche Parameter der Beschichtungsanlage sind nicht genau genug, um reproduzierbare Ergebnisse zu erhalten. Viel besser ist der Einsatz eines Schichtdickenmonitors oder einer Schichtdickenkontrolleinheit, bei denen die Schichtdicke direkt in der Kammer über die Ablagerung auf einem Messkopf gemessen wird. Die preiswerten Cressington MTM Systeme bieten eine sehr gute Auflösung von 0,1 nm bei Kohlebeschichtung (Dichte 2g/cm3). Die Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitore können an jeden Sputter Coater oder Carbon Coater der 108er Serie angeschlossen werden. Die Cressington MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit ist voll kompatibel mit den Cressington 108auto und Cressington 108auto/SE Sputter Coatern. Beide werden mit vollständigem Installationskit inkl. Messkopfhalter, CS 108 Vakuumdurchführung, Oszillatorbox und Kabeln geliefert.
Spezifikationen der Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte
Instrument |
MTM-10 |
MTM-20 |
Artikelnr. |
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Art |
Monitor |
Monitor/Kontrolleinheit |
Auflösung |
0,1 nm for C (2 g/cm3) |
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Anzeigebereich |
0,0 - 999,9 nm (pos/neg) |
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Tooling Factor |
0,25 – 8,0 |
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Frequenz/Update |
6 Mhz / 5/Sekunde |
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Frequency Sortiment |
5,5 Mhz |
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Speicher |
4x Dichte & 4x Tooling |
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Kompatibilität |
Alle 108 Coater |
108auto & 108auto/SE |
Terminator |
- |
108auto & 108auto/SE |
Termination-Bereich |
- |
0 – 999,9 nm |
Vakuumdurchführung |
CS-108 (Ø10 x 9 mm) |
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Messkopf |
Ø19 x 20 mm mit Ø 6 mm Kristallbereich |
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Messkopfkabel |
Mini SMB, 18 cm / 30 cm lang |
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Kristalle |
6Mhz / Ø14 mm / goldbeschichtet |
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Maße |
210 x 160 x 77 mm |
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Stromanschluss |
230v / 50 Hz / 50 W |
230v / 50 Hz / 50 W |
Cressington MTM-10 hochauflösender Schichtdickenmonitor
Der Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor misst akkurat die Dicke in Cressington Sputter Coatern (Metallzerstäubung) und Carbon Coatern (Kohlebedampfung) mit einer Auflösung von 0,1 nm bei Kohle (2g/cm3). Reproduzierbare Schichtdicken, unabhängig von Coater Parametern wie Gasdruck, Abstand zwischen Probe und Kopf, Stromstärke. Die optimale Schichtdicke kann schnell bestimmt und leicht reproduziert werden. Mit Hilfe der Korrektur durch den Tooling-Faktor zeigt der Monitor die richtige Schichtdicke an. Der Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor hat vier Speicherplätze für das verwendete Beschichtungsmaterial und Speicherplätze für den Tooling-Faktor. Geliefert als komplettes Kit zur Installation in 108er Sputter Coatern oder Carbon Coatern.
- Kompatibel mit allen Cressington 108 Coatern
- Einfach zu handhaben, Echtzeitanzeige
- Hochauflösende Schichtdickenmessung
Angebotsinformationen für Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor
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Cressington MTM-20 hochauflösende Schichtdickenkontrolleinheit
Die Cressington MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit hat die gleich hohen Spezifikationen wie das MTM-10. Zusätzlich hat sie aber noch einer Terminator-Funktion für Cressington 108auto und 108auto/SE Sputter Coater. Ist die vorprogrammierte Schichtdicke erreicht, schaltet sich die Stromversorgung des Sputterkopfes ab. Diese Funktion ist ideal für Serien von reproduzierbaren Schichten. Die MTM-20 Terminator-Funktion kann voll in den automatischen Zyklus eingebunden werden, wodurch der Anwender sich nach dem Starten des Systems anderen Aufgaben widmen kann.
- Kompatibel mit allen Cressington 108auto und 108auto/SE Sputter Coatern
- Einfach zu handhaben, Echtzeitanzeige
- Hochauflösende Schichtdickenmessung
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Bestellinformation für Ersatzteilen und Verbrauchsmaterial für die Cressington MTM-10/20 Systeme
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