Übersicht Mikroskopkalibration, Test- und Referenzstandards
Nano-Tec magnetische Edelstahlscheiben für AFM und SPM
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AFM XYZ Kalibrierstandards
Preiswerte, schnelle und einfache Kalibrierung von AFM-Systemen

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• AFM XYZ Kalibrierstandards   |
  • HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z
  • HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z
  • HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z
  • CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z
• AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter  
  • TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante
  • TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur

AFM / SPM XYZ Kalibrierstandards

Atomic Force Mikroskope (AFM) sind zu einem wertvollen Werkzeug geworden wenn es darum geht, im Mikrometer- und Nanometerbereich Bilder zu erzeugen und Messungen durchzuführen. Um die Verlässlichkeit der Messungen zu gewährleisten, muss das AFM-System korrekt kalibriert werden. Auf dieser Seite finden Sie eine Auswahl preiswerter und genauer AFM Kalibrierstandards zur Kalibrierung der X-, Y- und Z-Achse.

• Die HS Kalibrierstandards mit 20, 100 und 500 nm Z-Höhe ermöglicht auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse bei größeren Scangrößen im 40-100 µm Bereich.
• Der CS Kalibrierstandard mit 20 nm Z-Höhe ermöglicht auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse bei kleiner Scangröße im µm-Bereich.
• Die Strukturen der AFM Kalibrierstandards der CS und HS Serie sind alle auf deinem Si-Chip hergestellt, der mit leitendem Epoxidharz auf einer 12 mm AFM Edelstahlscheibe montiert ist.
  
  

Spezifikationen der AFM / SPM XYZ Kalibrierstandards

Kalibrierstandard	HS-20MG	HS-100MG	HS-500MG	CS-20NG
Artikelnr.	34-030020 / 34-030021	34-030100 / 34-030101	34-030500 / 34-030501	34-032020 / 34-032021
Höhe (Z)	20 nm	100 nm	500 nm	20 nm
Höhe (Z) Toleranz	2%	3%	3%	2%
X-Abstand	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm, 500 nm
Y-Abstand	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm	10 µm, 5 µm, 500 nm
Toleranz X/Y Abstand	0.1 µm, 0.1 µm	0.1 µm, 0.1 µm	0.1 µm, 0.1 µm	0.1 µm, 0.1 µm, 10 nm
10 µm Teilungsstruktur	Quadratische Löcher / Säulen	Quadratische Löcher / Säulen	Quadratische Löcher / Säulen	Quadratische Löcher / Säulen
5 µm Teilungsstruktur	Runde Löcher, Säulen und Linien	Runde Löcher, Säulen und Linien	Runde Löcher, Säulen und Linien	Runde Löcher, Säulen und Linien
500 nm Teilungsstruktur	-	-	-	Runde Löcher
10 µm Teilungsbereich 5 µm Teilungsbereich 500 nm Teilungsbereich	1x1 mm 500x500 µm -	1x1 mm 500x500 µm -	1x1 mm 500x500 µm -	1x1 mm 500x500 µm 100x100 µm
Größe	5x5 mm	5x5 mm	5x5 mm	5x5 mm
Konstruktion	SiO2 auf Si	SiO2 auf Si	SiO2 auf Si	SiO2 auf Si
Mounted	12 mm AFM Scheibe	12 mm AFM Scheibe	12 mm AFM Scheibe	12 mm AFM Scheibe

TG Serie AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

Die TGX and TGF11 Testgitter sind besonders geeignet für die laterale Kalbrierung und um die Abweichungen des Abtasters sowohl in laterale als auch in vertikale Richtung festzustellen. Weitere zu ermittelnde Parametern sind: Hysterese, Kriechverhalten und Zurückkopplungseffekten. Geätzt in Silicium entlang der kristallographischen (111) Ebene. Der typische Radius der Ecken beträgt weniger als 5 nm

 

Spezifikationen der TG Serie AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

Test Grating	TGX	TGF11
Artikelnr.	34-033010-U / 34-033010	34-033030-U / 34-033030
Kalibrierter Abstand	3 µm	10 µm
Abstandsgenauigkeit	0.1 µm	0.1 µm
Eckenradien	5nm	5nm
Winkel	54.74°	54.74°
Stufenhöhe, cax.	1 µm	1.75 µm
Aktiver Bereich	1 x 1 mm	3 x 3 mm
Konstruktion	Geätztes Silicium	Geätztes Silicium
Chip-Maße	5 x 5 x 0.3mm	5 x 5 x 0.3mm
Montageoptionen	Auf 12 mm AFM Scheibe	Auf 12 mm AFM Scheibe

Bestellinfromationen zu AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z Der HS-20MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 20 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse im 10-40 µm Bereich. Die symmetrische Struktur des HS-20MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird wahlweise montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-20MG Standards vermerkt. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-030020 HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe Qty: Stück €254,50 34-030021 HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, nicht montiert Qty: Stück €254,50

HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z Der HS-100MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 100 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse. Die symmetrische Struktur des HS-100MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-100MG Standards vermerkt. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-030100 HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe Qty: Stück €254,50 34-030101 HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z, nicht montiert Qty: Stück €254,50

HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z Der HS-500MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 500 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse im 10-40 µm Bereich. Die symmetrische Struktur des HS-500MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-500MG Standards vermerkt. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-030500 HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe Qty: Stück €254,50 34-030501 HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500nm Z, nicht montiert Qty: Stück €254,50

CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z Der CS-20NG ist ein XYZ Kalibrierstandard mit 20 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein mittelgroßes Quadrat mit 500x500 µm. Das mittlere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Darauf sitzt ein kleines Quadrat mit 100x100 µm mit runden Löchern in 500 nm Abstand. Das Design des Nano-Grid erlaubt sowohl laterale, als auch vertikale Scannerkalibrierung. Die symmetrische Struktur des CS-20NG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der CS-20NG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des CS-20NG Standards vermerkt. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-032020 CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Scheibe Qty: Stück €730,00 34-032021 CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, nicht montiert Qty: Stück €730,00

Bestellinfromationen zu AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante Das TGX Kalibriergitter hat eine unterschnittene Ecke. Es wurde durch zweidimensionales Ätzen entlang der (111) kristallographischen Ebene des Siliciums hergestellt. Typischer Radius der Ecken ist 5 nm. Das TGX Kalibriergitter dient zur lateralen Kalibrierung von SPM Scannern, ist aber auch nützlich zur Aufspürung von Linearitätsabweichungen, Hysteresis, Mikroschlupf, Kreuzkopplungseffekten und Bestimmung der Spitzenverhältnisse. Der kalibrierte Abstand beträgt 3 µm bei einer nicht kalibrierten Stufenhöhe von 1 µm. Die Größe des Chips beträgt 5x5x0,3 mm bei einer 1x1 mm Nutzfläche. Sowohl nicht montiert, als auch montiert auf einer 12 mm AFM Scheibe erhältlich. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-033010-U TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante, nicht montiert Qty: Stück €264,50 34-033010 TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante, auf 12 mm AFM Scheibe Qty: Stück €264,50

TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur Das TGF11 Kalibriergitter verfügt über eine eindimensionale Anordnung trapezförmiger Stufen. Die Stufen sind in ein monokristallines Siliconsubstrat entlang der (111) Ebene geätzt. Ergebnis ist eine ebene Struktur mit glatten Seitenwänden auf dem Trapezoid mit 54,74°. Das TGF11 Kalibriergitter ist nützlich bei der Einschätzung von Linearitätsabweichungen des Scanners in vertikaler Richtung. Die Kalibrierung der lateralen Kraft kann durch Analyse des Kontaktansprechverhaltens auf den flachen und abgeschrägten Ebenen erzielt werden. Der kalibrierte Abstand beträgt 10 µm bei einer nicht kalibrierten Stufenhöhe von 1,75 µm. Die Größe des Chips beträgt 5x5x0,3 mm bei einer 3x3 mm Nutzfläche. Sowohl nicht montiert, als auch montiert auf einer 12 mm AFM Scheibe erhältlich. Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage 34-033030-U TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur, nicht montiert Qty: Stück €264,50 34-033030 TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur, auf 12 mm AFM Scheibe Qty: Stück €264,50

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